Dieses kurze Kapitel beschäftigt sich mit dem Wachstum von Kobalt auf W(110). Insbesondere liegt der Schwerpunkt auf der Kontrolle der Kobaltfilmdicke. Wie wichtig die Schichtdickenkontrolle ist, belegen die Messungen der Curie-Temperatur von Garreau et al. [GFB97], die eine Steigung der Curie-Temperatur um 500 K pro Monolage Kobalt im Schichtdickenbereich zwischen 1.6 ML und 2.4 ML finden. In der Regel benötigt man mehr als drei Kobaltfilme derselben Schichtdicke, um eine ausreichende Statistik in den Spektren der spinpolarisierten IPE zu erhalten. Daher muß neben der Bestimmung der absoluten Schichtdicke vor allem die relative Schichtdicke und die Struktur des Kobaltfilms sehr gut reproduzierbar sein. Im folgenden Kapitel wird vorgestellt, durch welche Kombination von Meßtechniken diese Anforderungen beim System Co/W(110) erreicht werden.